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日本進口大塚的橢圓偏光測量儀ＦＥ－５０００Ｓ（ＰＸＭ２８）
日期：2021-10-25 17:11
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摘要：使用環境
設置場所：屋內設置（避免太陽光直射）
周圍環境：無傾斜，異常震動，灰塵，有害氣體，溫度變動，
電源變動，磁場噪音，不會接觸液體，沒有起火
物質。
高度界限：標準高度2000m
周圍溫度：20-30℃（無劇烈的溫度變化）
相對濕度：30-80%（無結露）
噪 音：60dB以下（距離設備測量1m的距離測量）
日本進口大塚的橢圓偏光量測儀ＦＥ－５０００Ｓ（ＰＸＭ２８）
（顯微分光膜厚儀）
對應多種膜的解析計算方法
● *小二乘法
通過優良反射率測量和薄膜模擬的fitting，可解析目標膜的膜厚和
光學常數（n:折射率，k:消光系數）。
也可對應層疊結構
● *適合法
在設定的膜厚范圍內，進行薄膜模擬，可自動演算光譜形狀*高
膜厚值的手法?？蓪鄬觢evel的層疊結構。
● 周期解析（FFT法）
通過傅里葉變換計算光干涉的光譜波形的周期性，可自動演算膜厚的
膜厚值。即便沒有基板信息，也可解析，此外，還能對應多層level
的層疊結構
● P（V 峰谷法）
以光干涉法為原理的解析手法。通過輸入單層膜的折射率，即便沒
基板信息，可以自動演算膜厚值。
可在測量的反射率的峰值（谷值）在2個以上時使用。
