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日本進口大塚的橢圓偏光測量儀FE-5000S(PXM28)

日期:2021-10-25 17:11
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摘要:使用環境 設置場所:屋內設置(避免太陽光直射) 周圍環境:無傾斜,異常震動,灰塵,有害氣體,溫度變動, 電源變動,磁場噪音,不會接觸液體,沒有起火 物質。 高度界限:標準高度2000m 周圍溫度:20-30℃(無劇烈的溫度變化) 相對濕度:30-80%(無結露) 噪 音:60dB以下(距離設備測量1m的距離測量)

日本進口大塚的橢圓偏光量測儀FE-5000S(PXM28)

(顯微分光膜厚儀)




對應多種膜的解析計算方法

● *小二乘法
通過優良反射率測量和薄膜模擬的fitting,可解析目標膜的膜厚和
光學常數(n:折射率,k:消光系數)。
也可對應層疊結構
● *適合法
在設定的膜厚范圍內,進行薄膜模擬,可自動演算光譜形狀*高
膜厚值的手法??蓪鄬觢evel的層疊結構。
● 周期解析(FFT法)
通過傅里葉變換計算光干涉的光譜波形的周期性,可自動演算膜厚的
膜厚值。即便沒有基板信息,也可解析,此外,還能對應多層level
的層疊結構
● P(V 峰谷法)
以光干涉法為原理的解析手法。通過輸入單層膜的折射率,即便沒
基板信息,可以自動演算膜厚值。
可在測量的反射率的峰值(谷值)在2個以上時使用。





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